R-IBE
Im Gegensatz zu den IBF-Anlagen kommt bei den R-IBE Anlagen ein möglichst großflächiger homogener Ionenstrahl zum Einsatz. Man unterscheidet zwischen den, rein physikalischen IBE-Prozesse des Direktätzens und den chemisch, durch Reaktivgas unterstützten R-IBE-Prozessen. Grundsätzlich beherrschen alle, im folgenden vorgestellten Anlagentypen beide Verfahrensweisen.
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