Fertigung der Vakuumkomponenten, Reinigung und Installation vor Ort
Das System besteht aus 22 Spiegelkammern welche auf einem Stahlgestell oder Granitblock montiert sind, optische Tische (Breadboards) für jede Kammer welche mechanisch entkoppelt und unabhängig der Kammern in der Höhe verstellbar sind, ca. 107m Rohr DN500, diverse Vakuumschieber, Stahlgestelle, Rohrstützen, Granitblöcke und ein komplettes Vakuumsystem.
Alle Vakuumbauteile wurden unter Reinraumbedingung gereinigt um Partikel auf der Oberfläche zu vermeiden.
Die Montage der Gestelle und Granitblöcke fand unter ISO7 Reinraumbedingungen statt und danach wurden die einzelnen Komponenten segmentweise unter ISO5 Bedingungen montiert.
Kammer auf Maschine
Kammer beim Schweißen
Kammer E4 CH056 – 2
Pipe DN500 montiert
Spiegelkammer in Reinraumzelt montiert
Spiegelkammer in Reinraumzelt
Übersicht Raum E4
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