Diffusion-bonded Vakuumfenster können starke Verformungen und Spannungen aufweisen. Spezielle Anwendungen erfordern allerdings eine hohe optische Güte. Eine nachträgliche Politur des optischen Fensters ist aufgrund der Geometrie nicht möglich. Zudem ergibt sich die Schwierigkeit, dass nach einem Ausheizvorgang in der Applikation zusätzliche Spannungen entstehen, die das optische Glas weiter verformen. Wir haben einen speziellen Prozess entwickelt, durch den die Spannungen drastisch abgebaut werden und die Oberflächen-Topographie als auch die transmittierte Wellenfront im Bereich von PV 2µm nach PV 8.8nm (lambda/70) optimiert werden kann. Dies wird durch einen alternierenden Ausheizprozess mit mehrstufiger IBF Bearbeitung unter Verwendung eines 5mm Ionenstrahlquerschnitts und abschließender Feinkorrektur mit 2mm Querschnitt erreicht.
Für weitere Informationen zur Lohnfertigung im Bereich IBF kontaktieren Sie bitte Dr. David Schäfer
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