Konstruktion, Fertigung der Gestelle, Türme, Rohrstützen und Montage vor Ort

Hier handelt es sich um ein Vakuumsystem welches die montierten Hochleistungsdrehspiegel des 1 Petawatt, 30 J, 30 fs, 10 Hz, 820 nm, ELI L3 Lasers aufnehmen wird. Der Laser wird vom Eingang der Strahlverteilung komplett im Vakuum, mit bis zu 18 Spiegeln, über eine Strecke von bis zu 107 Metern zu den Experimentierbereichen geführt.

Die 22 Spiegelkammern wurden auf extrem steife und schwingungsarme Gestelle, Türme (bis zu 7000 kg) und Granitblöcke (bis zu 4500 kg) montiert. Die Rohrstützen wurden stehend und hängend montiert. Um eine größtmögliche Steifigkeit zu garantieren, sind alle Wand- und Bodenanschlüsse der Gestelle, Türme, Granitblöcke und Rohrstützen mit einem Spezialmörtel vergossen. Alle Stahlkomponenten sind mit einer ISO7 reinraumtauglichen Farbe lackiert und wurden danach für die Reinraumklasse ISO7 gereinigt und verpackt.

Wir freuen uns auf Ihre Anfragen 

Im Spätsommer 2020 unternahmen wir die ersten Schritte um auf großen Teilen unseres Firmengeländes eine Heimat für heimische Vogelarten, Kleintiere und vor allem Insekten zu erschaffen.

Wir pflanzten über 200 Stauden, etliche Heckengehölze und es wurden einige Meter Totholz und Steine herbeigekarrt und zu einer ansehnlichen Insektengroßstadt aufgeschichtet.

Danach hieß es einfach nur abwarten und nichts tun. Vor allem nicht mähen!

Schon nach wenigen Monaten zeigt sich nun eine bunte Vielfalt an Wiesenblumen und Wildkräutern.

Auch die ersten Bewohner sind bereits eingezogen.

Weitere Informationen zu dieser Kampagne finden Sie hier:  Naturschutzkampagne Hessen

Unsere IBF 5 stellt einen Meilenstein unserer Firmengeschichte dar. Durch die Verwendung unserer neuen RF 5 µB Ionenstrahlquelle mit kleinster Werkzeuggröße von 40µm bei Abtragsraten >40nm/s erschließen sich neue Anwendungsgebiete in der Mikrooptik. Wartungsintervalle von 2000 Stunden ermöglichen Langzeitbearbeitungen, welche im Hinblick auf Mold-Array Fertigung unabdingbar sind.

Wegen der kleinen Werkzeuggröße sind höchste Anforderungen an Genauigkeit der Positionierung und Dynamik gestellt. Um dem Kunden die Bedienung so einfach wie möglich zu gestalten verwenden wir teils eigens entwickelte Präzisions-Sensorik in Vakuumausführung innerhalb der Prozesskammer: Ein Konfokal-Sensor, ein Video-Mikroskop und ein Mikro-Faraday-Cup als Systemreferenz stellen sicher, dass das Werkzeug in Relation zum Werkstück einen maximalen Versatz von <1µm aufweist.

Weitere Informationen finden Sie hier: Ionenstrahl Technologien 

Die Faraday Tasse dient der Strommessung eines Ionen- oder Elektronenstrahls und folgt dabei einem sehr einfachen Prinzip. Die geladenen Teilchen treffen auf einen elektrisch isolierten Metallkörper, die Ladung wird über ein Messgerät zur Erde geleitet, der Strahlstrom wird so messbar. Im Detail müssen dabei jedoch einige Nebeneffekte in Betracht gezogen werden. Bei hochintensiven Strahlen muss eine effiziente Kühlung die Zerstörung der Tasse verhindern. Hochenergetische Strahlen haben eine große Eindringtiefe in das Material, was bei der Auslegung der Materialdicke berücksichtigt werden muss. Ein Blendensystem sorgt mittels eine Hochspannung für die Zurückdrängung von geladenen Sekundärteilchen, die das Messergebnis verfälschen. Bei Elektronen spielen Paarbildungseffekte eine Rolle. NTG versteht sich in besonderer Weise auf die Auslegung unter Berücksichtigung all dieser Effekte und bietet für die unterschiedlichsten Anwendungsfälle maßgeschneiderte Lösungen.

Neben Studien und Prozessentwicklungen bieten wir auch IBF-Lohnbearbeitung an. Dafür steht eine IBF200 und zukünftig auch eine IBF500 zur Verfügung. Für die Topographie- oder Wellenfrontmessung verwenden wir ein Zygo Interferometer mit folgenden Objektiven: 6“ (plan, f2.2), 4“ f0.75, 25mm f0.58. Natürlich können auch Kundendaten verwendet werden, die IBF Bearbeitung wird dann „blind“ durchgeführt.

Im Bild ist ein Beispiel einer Zerodurplatte dargestellt. Die Herausforderung war eine Bearbeitung zu 100% der Fläche auf best-effort Basis. Die Optik wurde dafür in einen Standard Halter geklebt. Für die Erzielung eines bestmöglichen Ergebnisses wurde die Bearbeitung in zwei Stufen durchgeführt: Eine Bearbeitung mit ~7mm Ionenstrahlquerschnitt zur Korrektur des Astigmatismus und eine Feinstkorrektur mit 2mm. Der PV-Wert konnte um einen Faktor 28 verbessert werden.

Weitere Informationen finden Sie hier: Ionenstrahlbearbeitung