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Bewegungssysteme für Vakuumanwendungen

Zusätzlich zu den UHV-Kammern bieten wir auch eine Vielfalt an Zubehör für Vakuumanwendungen. Mit NTG kommt Bewegung ins Spiel. Unser Spektrum umfaßt UHV-Lineardurchführungen und Verstelleinrichtungen unterschiedlicher Bauformen. Lineare Bewegung, Rotation, Kippen, Schwenken, pneumatisch oder spindelgetrieben, wir bieten die ganze Palette:

 

  • Pneumatische Durchführungen
  • Präzisions-Lineardurchführungen
  • Rotationskammern
  • Verstelleinheiten
  • und vieles mehr …

Pneumatische Durchführungen

Der Einsatz eines pneumatischen Antriebes bietet sich immer dann an, wenn nur wenige diskrete Positionen angefahren werden müssen. Wir passen den Verfahrweg und die Belastbarkeit Ihren individuellen Anforderung an.

Die Durchführungen können mit einer wassergekühlten Welle ausgestattet werden.

Technische Daten:
Anschlußflansch: min. DN 100 (CF oder ISO-K)
Druck: 4-6bar
Leckrate: 10-10mbar*l/sec
Ausheizbar bis 300°C
Hub: nach Kundenvorgabe

Diese Durchführungen können auch als Doppel-Durchführung für unabhängige Bewegungen von zwei verschiedenen Elementen aufgebaut werden. Auf Anfrage ist es möglich, das System mit einem anderen Anschlußflansch zu liefern.

Präzisions-Lineardurchführungen

Unsere hochpräzisen Schrittmotor- oder Servomotorantriebe kommen zum Einsatz, wenn für Sie auch die Zwischenpositionen von Interesse sind. Hochfrequenztuner (Tauchkolben), Wirescanner etc. sind beispielsweise mit diesen Antrieben ausgestattet. Auch hier bieten wir volle Flexibiltät bei der Auslegung, mit oder ohne Positionsgeber, Endlagenschalter und anderen Sonderausstattungen.

Die Durchführungen können mit einer wassergekühlten Welle ausgestattet werden.

Technische Daten:
Anschlußflansch: min. DN 100 (CF oder ISO-K)
Positioniergenauigkeit: <10µm (abhängig vom eingesetzten Motor)
Leckrate: <1e-10mbar*l/sec
Ausheizbar bis 300°C
Hub: nach Kundenvorgabe

Alternativ können diese Durchführungen auch als Doppeldurchführung angeboten werden. Dies erlaubt die Übertragung zweier voneinander unabhängigen Linearbewegungen in ein abgeschlossenes Vakuumsystem. Der universelle Aufbau ermöglicht eine einfache Montage (auch gekühlter) Elemente am vakuumseitigen Ende der Durchführung. In der Beschleunigertechnik findet die Lineardurchführung Anwendung beim Aufbau von Schlitzsystemen, Kollimatoren, Emittanzmeßeinrichtungen und Scannern

Rotationskammern

Mit Hilfe einer Rotationskammer ist es möglich im UHV Komponenten von zwei benachbarten Kavitäten relativ zueinander zu positionieren.

Alternativ kann auch mittels einer Kamera, bzw. eines Messystems der volle Umfang eines im Vakuum befindlichen Bauteils geprüft, bzw. aufgenommen werden.

Verstelleinheiten

Mit Hilfe einer Verstelleinheit können Anbauten (Messsysteme, o.ä.) neu ausgerichtet und feinjustiert werden ohne, dass es erforderlich ist die Kavitäten zu belüften.

Die Verstellung kann in zwei Ebenen manuell um ca. +/- 3° erfolgen, sowie linear, motorisch angetrieben um ca. +/- 4mm.