IBF Lohnbearbeitung – Beispiel Zerodurplatte

Neben Studien und Prozessentwicklungen bieten wir auch IBF-Lohnbearbeitung an. Dafür steht eine IBF200 und zukünftig auch eine IBF500 zur Verfügung. Für die Topographie- oder Wellenfrontmessung verwenden wir ein Zygo Interferometer mit folgenden Objektiven: 6“ (plan, f2.2), 4“ f0.75, 25mm f0.58. Natürlich können auch Kundendaten verwendet werden, die IBF Bearbeitung wird dann „blind“ durchgeführt.

Im Bild ist ein Beispiel einer Zerodurplatte dargestellt. Die Herausforderung war eine Bearbeitung zu 100% der Fläche auf best-effort Basis. Die Optik wurde dafür in einen Standard Halter geklebt. Für die Erzielung eines bestmöglichen Ergebnisses wurde die Bearbeitung in zwei Stufen durchgeführt: Eine Bearbeitung mit ~7mm Ionenstrahlquerschnitt zur Korrektur des Astigmatismus und eine Feinstkorrektur mit 2mm. Der PV-Wert konnte um einen Faktor 28 verbessert werden.

Weitere Informationen finden Sie hier: Ionenstrahlbearbeitung