Bis zu 200mm Ionenstrahlbearbeitung – Einblick in die Entwicklung

Pushing the Limits II

Neben der Neuentwicklung im Bereich der Ionenstrahlbearbeitung in Richtung kleinen Optiken mittels eines 40µm Ionenstrahl im vergangenen Jahr (nähere Informationen dazu finden Sie hier), erweitern wir aktuell die Bandbreite unserer Ionenstrahlquellen hin zur Bearbeitung von Großoptiken.

Zu unseren Ionenstrahlbearbeitungsanlagen für bearbeitbare Optikdurchmesser von 1mm bis 2000mm, welche sich bereits weltweit im Einsatz befinden, erschließt diese den Bereich für bearbeitbare Durchmesser oberhalb von 2000mm mit einer hohen Volumenabtragsrate.

Unser neues Werkzeug, befindet sich zurzeit in der Inbetriebnahme und liefert einen Ionenstrahlquerschnitt im Bereich von 120mm bis 200mm (Halbwertsbreite der Gaußform) bei einer Extraktionsspannung im Bereich von 0.6 kV bis 1.5kV mit dem Arbeitsgas Argon. Erste Plasma-, Strahl- und Materialabtragsuntersuchungen sind in den nächsten Wochen geplant.

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